3D 나노융합소자 카지노사이트 검증센터

설립목적

2차원 반도체소자의 미세화 한계를 극복하기 위한 3차원 반도체소자 적층기술의 카지노사이트 검증
다양한 기능을 가진 이종 소자를 적층하여 인공지능, 사물인터넷, 자율주행 등 4차 산업의 핵심 기술 분야에 사용되는 초고성능, 초저전력 소자의 구현을 가능토록 함
첨단 청정실을 이용하여 CMOS 소자 제작 및 3차원 소자 개발을 위한 다양한 공정 장비를 집적화 시켜서 연속 공정이 가능한 소자 제작 플랫폼을 구축하여 집적도와 경제성 및 성능 측면에서 가장 우수한 M3D(Monolithic 3D) 반도체소자에 대한 카지노사이트 검증를 집중적으로 수행
대학의 반도체 관련 선행 기초카지노사이트 검증, 산·학·연 카지노사이트 검증인력의 협업에 의한 3차원 반도체소자의 융복합 카지노사이트 검증, 그리고 반도체 소자, 공정, 소재·부품·장비 분야의 전문인력양성사업을 진행하고 있으며, 향후 인천 지역의 차세대 반도체 카지노사이트 검증개발의 거점이 되는 핵심카지노사이트 검증지원센터의 역할을 수행을 목표로 함

청정실(클린룸) : 100평(330㎡)
- 청정도 : Class 1000(Photo room은 Class 100)
- 중앙 공급식 유틸리티 : 공정가스, PCW, CDA, Scrubber

주요 장비 : 4 inch 웨이퍼 사용

3D 나노융합소자 카지노사이트 검증센터 장비보유현황
순번	국문장비명(영문명)	취득년도	제조사
1	스퍼터(DC/RF Sputter)	2003	아텍시스템
2	마스크 얼라이너(Aligner & Exposurer)	2007	Karl Suss
3	스퍼터(DC Sputter)	2009	에스엔텍
4	단일원자증착기(ALD)	2009	에스엔텍
5	반도체 세정장치(Wet station)	2014	젠시스
6	초순수 제조장치(DI Generator)	2014	젠시스
7	저압 화학증기증착장비(LPCVD)	2018	대기하이텍
8	흄후드(Fume hood)	2018	한국기계
9	스핀코터(spin coater)	2018	마이다스
10	플라즈마 화학증기증착장비(PECVD)	2019	엘에이티
11	급속열처리기(RTP)	2020	엘에이티
12	유도결합 플라즈마 식각장치(ICP-RIE)	2020	엘에이티